芯潮(公众号:aichipc001)文 | 心缘

芯潮11月7日消息,中芯国际去年4月买的那台世界顶级光刻机,似乎还没有进入中国来。

它的供应商荷兰ASML,是全球唯一一家顶级芯片制造设备——极紫外光(EUV)光刻机的供应商。也就是说,要想制造出7nm以及更先进制程的芯片,没有晶圆厂能离开ASML。

然而,11月6日,据日经亚洲评论报道称,ASML似乎已成为美国压制我国半导体产业发展的手段中关键的一环,它对我国EUV光刻机暂停供应,极有可能是受美国的制约。

中芯国际是我国大陆最大的半导体制造公司,而如果拿不到最先进的光刻机设备,就意味着我国芯片制造业无法造出更先进的芯片,与台积电、三星等国际一流芯片制造商间的技术差距也会进一步拉大。

ASML表示,其向中国客户出口其最先进的机器之一的许可证已经到期,正在等待荷兰政府新的出口许可。

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芯片产业主要分为设计、制造、封测三大流程。

其中,我国在芯片制造业的先进技术上与国际领先水平差距明显。全球第一大芯片制造商台积电的7nm芯片已经随着苹果手机、华为手机等设备走入千家万户,而大陆最领先的玩家中芯国际却还在14nm工艺阶段。

在芯片制造的一系列环节中国呢,光刻机又是其中最复杂、最关键、耗时最长、成本最高的工艺步骤,其工艺水平直接决定芯片的制程水平和性能水平。

全球技术实力最强、市值最高的光刻机设备供应商,就是ASML。

ASML不仅垄断了绝大多数光刻机市场,而且是最先进EUV光刻机设备的唯一供应商。它的市值达1040亿欧元。智东西曾对ASML及光刻机进行深入报道。(这台设备比印钞更赚钱!公司来自荷兰,被曝中国员工窃密

光刻机霸主断供中芯国际?等荷兰批出口许可,或顾虑美方压力

去年4月,中芯国际向ASML预定一套最新型EUV光刻机设备,据说价值1.2亿美元。

一位知情人士称:“ASML决定推迟EUV设备的交付,因为它不想让美国政府现在为了最先进的芯片制造机器运往中国而感到不安。”

但它也补充说,与此同时,ASML不想让中国及其中国客户感到不安(因为延误),因为那是其增长最快的(技术)市场。”

随着中芯国际等国内芯片制造商的快速发展,中国正成为ASML增速极为迅猛的一大市场。

去年,ASML的年销售额达83亿欧元(92亿美元),其中约16%来自英特尔、美光等美国公司,19%的营收额来自中国。

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二、ASML:等荷兰政府批准

尽管ASML是一家荷兰政府,但它也不得不为地缘政治交火和商业利益竞争所困扰。

Market Intelligence&Consulting Institute的高级技术分析师Chris Hung表示,所有与芯片相关的公司,在将产品运往中国方面都变得更加谨慎,毕竟很多知识产权、材料和基础科学还控制在美国手中。

知情人士透露,中国客户订购的EUV设备,原定于2019年底交付,到2020年中期完成安装。

针对这一传闻,ASML公司已官方做出回应:

关于日经新闻(NIKKEI)昨日报导,其标题和内容呈现造成误导,本公司在此提出澄清。
 
我司不对任何客户做评论。对于日经新闻报道的关于交货时程仅为其媒体推测,ASML从未评论或确认,因此,“延迟出货”仅为媒体推测。对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述,表示抗议。
 
ASML一向在遵守相关国际法规的前提下一视同仁地服务全球客户。根据瓦圣纳协议,ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期,ASML已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准。因此,关于“ASML决定延迟/终止出货”的说法是错误的,ASML系遵循法规行事。

据悉,EUV机器需要遵循一种旨在阻止用于军事目的的先进技术传播的跨国出口控制协议。原本从荷兰和欧洲那里出售给中国客户是有豁免权的,但许可证似乎已过期。

ASML表示:“荷兰政府目前正在处理EUV出口到中国的续期/延期的请求。在此之前,我们无法将EUV运往中国。”

根据荷兰的规定,许可证需要八周时间才能经批准或拒绝。

ASML 发言人莫妮克·摩尔斯(Monique Mols)说,ASML只是遵守了法律。

在亚洲具有丰富经验的律师兼政治风险顾问Ross Darrell Feingold说,公司必须在其经营所在的国家/地区遵守与出口有关的法律和法规,否则可能会受到相应法律或法规的处罚。

但另有分析人士认为,造成到货延期的另一个原因,可能是ASML在美国设有生产厂,其在美国的业务使得ASML在某些情况下ASML在美国管辖范围内,因而受到美国当局的直接或间接压力。

三、中芯国际回应:EUV还在纸面工作阶段

作为中国最大的芯片制造商,中芯国际对于国内芯片自给自足的目标起到至关重要的作用。特别是在制造为AI、5G、机器人与自动驾驶提供先进半导体方面,亟需能承担先进芯片制造的国内企业。

中芯国际长期以来的利润都很是可观,不过去年中芯国际去年利润为1.34亿美元,如果没有政府支持,负担约1.5亿欧元的ASML EUV光刻机及相关服务合同可能会非常吃力。

对于此次传闻,中芯国际也做出了回应:

 EUV还在纸面工作阶段,未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前,研发与生产的连结一切正常。客户与设备导入正常运作。

结语:核心技术仍是掌握半导体话语权的关键

就现在的局势来看,向中国尤其是向华为等敏感企业供货的国际半导体供应商们,都或多或少承受着压力。

据《金融时报》报道,华盛顿今年曾多次向台北施压,要求台积电限制向华为出售芯片。不过台积电近日对此已公开澄清,称未收到美国不可以向华为出货的要求,并表示其供应遵循法规要求。

此前在上周,一直在与科技行业高管密切会谈,鼓励芯片企业高管在美国建立新的半导体生产线,以减轻对台积电等芯片制造商的依赖。

尽管ASML的延迟交货,对我国半导体产业的快速推进造成一定程度上的打击,往好处看,推迟总归好过断供,我国快速增长的市场对于ASML而言还是颇具吸引力,而往严峻的方向看,如果我国不能实现自给自足,也不能在某一特定领域具备制约他国的能力,这样轻易“扼住咽喉”的情景未来无法确保不会再次复现。